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国家规范《电子级硫酸及实验办法》经过检查

发表时间:2022-11-20 14:20:13来源:贝博米乐平台

  中化新网讯(中国化工报姜小毛 通讯员梁锋)11月12日,从中石化南京化工研究院有限公司(简称南化研究院)得悉,由挂靠在南化研究院的全国化学规范化技能委员会硫和硫酸分技能委员会近来在浙江宁波举行规范检查会,整体参会委员和代表参加会议并经过了对《电子级硫酸及实验办法》等规范送审稿的检查,该规范行将上报国家规范化办理委员会。

  据介绍,电子级硫酸是芯片制作工艺中用量最大的电子化学品,首要用于去除晶圆片上残留的金属和有机物杂质,质量要求高,产品中金属离子要求到达ppt级。现在,我国高端电子级硫酸产品彻底依靠德国BASF等外企进口,严峻限制我国芯片工业开展,是首要“卡脖子”产品之一。

  近两年,我国电子级硫酸制备技能获得打破,产质量量明显进步,龙头企业电子级硫酸产品中金属离子浓度均小于10ppt,逾越了世界SEMI-C12(金属离子100ppt)等级,与世界电子化学品供应量最大、质量最好的巴斯夫电子级硫酸质量处同一级(金属离子10ppt),到达国内抢先、世界一流水平。

  现在,国内还没有电子级硫酸的国家规范或行业规范,拟定合适我国国情的《电子级硫酸》国家规范,为电子级硫酸国产化供给技能支持,一起对处理“卡脖子”问题具有活跃意义。依据国标委发[2020]37号《关于下达2020年第二批引荐性国家规范方案的告诉》的组织,由湖北兴福电子资料有限公司、南化研究院等担任国家规范《电子级硫酸及实验办法》的拟定作业。项目方案号为:20202886-T-606,完结年限为2022年8月,由全国化学规范化技能委员会(SAC/TC63)归口,硫和硫酸分技能委员会(SAC/TC63/SC7)担任施行。

  据硫和硫酸分会担任人、南化研究院总经理刘明介绍,规范作业组自上一年8月建立以来,首要参照SEMI C44-0708《Specifications and Guidelines for Sulfuric Acid》(硫酸规范与攻略)和HG/T 4559—2013《超净高纯硫酸》,一起依据国内出产企业的实践出产情况和用户对产品的质量要求以及国内现阶段老练的检测手法进行起草。并侧重就规范草案中规范的设置、目标的巨细及查验办法进行了评论,对规范和目标确认了“高端与世界看齐、低端恰当放宽”的准则,一起结合我国实践情况将规范按杂质含量的差异分为E1-E5五个等级。

  据介绍,拟定的规范共设置了硫酸含量、外观与色度、不同粒径颗粒的个数、氯化物、硝酸盐、磷酸盐、铵盐、复原高锰酸钾物质及金属杂质等共35个项目的技能目标,检测办法依据现在企业的实践情况,大部分选用了相应的、具有较高精度的仪器剖析。关于检测办法,鉴于前期阴离子选用仪器剖析法所遇到的实践困难,因而其剖析办法选用比色法,金属元素选用ICP-MS办法。

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